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微机电系统(MEMS)属于高精度微机械电子元件,广泛应用在航天航空、精密测量、国防军事、通讯等领域,其动力学问题是研究人员的关注重点。梳齿谐振器是MEMS中较为常见的一种电子元件,材料为多晶硅,采用非接触式激励和检测,易获得高灵敏度,相对于梁式结构更加稳定,具有效率高、精度高、激励形式多样等优点,被广泛应用到滤波器、加速度传感器、光频梳和能量采集器等众多产品中。开展对MEMS梳齿谐振器的静动力学问题研究,对于谐振器的优化与控制有着理论和指导意义。本文以MEMS梳齿谐振器为研究对象,对其稳定性,谐振频