基于钢笔直写的微纳米图案化研究

来源 :烟台大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sophiea123456

【摘要】

：

微纳制造是指微米或纳米尺度功能器件的加工方法,由于加工的功能器件尺度较小,传统机械加工已不能满足加工的需求,所以,微纳制造主要依赖于平面集成加工技术,平面集成加工技术包括薄膜沉积、图形成像和图形转移三部分,其中图形成像是必不可少的,也是影响微纳制造的主要因素。能够实现高质量、高效、低成本的图形成像,对微纳制造技术在微纳电子芯片制造及半导体器件制造等领域的应用具有非常重要的意义。光学曝光和模型复制是

【作者】

：

罗昆

【出处】

：

烟台大学

【发表日期】

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2019年09期

【关键词】

：

微纳制造钢笔直写图形成像直写系统

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