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磁悬浮技术属于高新技术，具有无摩擦、无磨损、无需润滑、低功耗、低噪声、寿命长等优点，它在传统机械产品向机电一体化产品转变中发挥着极大作用。在超精密工作平台的快速定位及精密运动的实现过程中，磁悬浮技术的应用能够显著提高平台的工作性能。磁悬浮承载能力的优劣主要取决于工作平台的结构设计与结构参数。本文以两级磁悬浮平台为研究对象，首先利用ANSYS软件分析了平台的上、下悬浮部分与基座在静止不动和稳定悬浮两个状态下的变形，根据结果验证结构布局的合理性；其次对结构进行模态分析，由振型图得出影响