论文部分内容阅读
光刻胶是电子信息产业中微细加工技术的关键性基础化工材料,光刻胶成膜树脂的改进是光刻胶开发的基础。传统的甲基丙烯酸酯类光刻胶由于分辨率不高,脆性较大,粘度大等缺点,限制了其在高精度线路板中的应用,因此能合成克服以上缺陷的树脂具有重要的现实意义。本文以甲基丙烯酸(MAA)、甲基丙烯酸甲酯(MMA)、丙烯酸丁酯(BA)、双丙酮丙烯酰胺(DAAM)为原料,采用溶液自由基聚合法合成了DAAM改性甲基丙烯酸酯树脂,将其作为光刻胶成膜树脂,配制成光刻胶,有效地改善了传统的甲基丙烯酸酯类光刻胶分辨率低、脆性大、粘度大的缺点。本文的主要内容有以下几个方面：1.采用溶液自由基聚合方法合成了甲基丙烯酸酯树脂,从引发剂种类和用量、加料方式、反应温度、反应时间、单体配比等方面,研究了合成条件对树脂分子量及分子量分布的影响；以DAAM对实验合成树脂进行改性,合成了DAAM改性甲基丙烯酸酯树脂,分析了改性后树脂的性能。结果表明,以偶氮二异丁腈(AIBN)为引发剂,在AIBN用量为单体质量的0.6-1%、反应温度80～85℃、单体质量比(MAA:MMA:BA)为25：50：25、DAAM用量为单体质量的5-10%,多次进料条件下制得的聚合物的重均分子量较大,分子量分布窄,改性后树脂的分辨率、粘附性提高,脆性改善。2.以实验合成树脂为成膜树脂,采用六芳基二咪唑、安息香双甲醚及二苯甲酮的混合引发体系,以三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(TMPTA)和1,6-己二醇二丙烯酸酯(HDDA)为交联单体,配制光刻胶,研究了成膜树脂种类、光引发剂用量、交联单体配比、交联剂用量对光刻胶感光性能的影响。结果表明,双丙酮丙烯酰胺改性能够显著提高树脂的感光性；在光引发剂用量为树脂质量的6.5%,交联单体配比TMPTA:HDDA为3：2,交联剂用量为成膜树脂质量的25%条件下,配制的光刻胶感光性能较好。3.对以上最佳条件下制得的光刻胶,研究了其光刻工艺,主要探讨了前烘、曝光、显影、坚膜等工艺对光刻图形质量的影响。结果表明,在光刻工艺条件为：前烘80℃、15min,曝光10s、显影40s,坚膜100℃、20min时,获得的光刻图形线条清晰完整、附着力好、分辨率高。