软X射线、极紫外线的聚焦在光谱学、无掩模光刻、极紫外线(EUV)望远镜成像等领域有许多应用。在软X射线和EUV波段,各种材料的折射率均接近或者等于1,这就导致了常规的通过折射聚焦成像的光学元件将无法正常使用。只有衍射聚焦光学元件适用于这种条件。现在常用的衍射光学聚焦元件主要是聚焦波带片和光子筛,聚焦波带片的的聚焦特性受到其最外环宽度的影响,因而在现有工艺条件下很难达到更高的分辨力。2001年Kipp等首次提出光子筛这种衍射光学元件。光子筛空间分辨力可以达到比其特征尺寸更小的超分辨水平,从而可以降低对光刻制作技术工艺的要求,可以用于对软X光射线和EUV辐射光源聚焦。　　为了进行相应的实验工作,我们设计并最终搭建了衍射光学聚焦测试系统。衍射光学聚焦测试系统主要由光路部分和接收部分两部分组成。光路部分搭建在光学平台上,采用的是最简单的直射式光路,主要有光源、扩束准直系统、衍射聚焦光学元件等组成。其中的衍射聚焦光学元件我们设计了波带片和光子筛两种,用来进行后面的聚焦对比实验。接收系统主要由CCD、硬件系统、软件系统三部分组成,根据系统要求和综合考虑我们选择了合适的CCD和硬件系统中的数据采集卡,并根据实际的数据采集卡编写了软件系统。软件系统根据实验需要具有实时采集并且具有图像的实时处理功能,使得我们能够清楚地看到采集到的图像。为聚焦实验的成功进行奠定了坚实的基础。整个系统的成功搭建为后期的各种光学实验提供了实验条件。　　最后,通过MATLAB仿真出波带片和光子筛的聚焦光斑。设计了相同特征尺寸的波带片和光子筛的版图,并在同一块掩模板上制作出来,在已经搭建的衍射光学元件聚焦测试系统上成功了完成了对两者的聚焦实验。聚焦实验结果和仿真结果都证明了光子筛具有更优越的聚焦性能,它能突破波带片的分辨率限制,并且突破其最外环的微孔孔径,具有超分辨衍射聚焦特性。同时,光子筛能有效的抑制高级衍射和旁瓣。衍射光学元件