目前微电子机械系统（Micro-electromechanical systems，简称MEMS）正迅速发展，已广泛应用于汽车、消费电子、医疗等领域。玻璃是MEMS系统不可或缺的材料，具有高硬度、高脆性、耐磨损、耐腐蚀、绝缘、透明以及生物相容性等优良属性，然而它的微加工却十分困难。电化学放电加工是一种有效的非传统微细加工技术，可用于加工非导电脆性材料。但是电化学放电加工小孔过程中，其加工深度、加工质量、重复性和材料去除率等方面尚未达到工业大规模生产的要求。为此，本文首先研究了电化学放电加工的机理和特性，提出并实验研究了振动辅助电化学放电加工技术和基于力反馈控制进给系统的电化学放电加工技术。在电化学放电加工的机理和特性的研究中，首先介绍了电化学放电加工的基本原理，并对其加工机理进行了分析。随后，研究了电化学放电加工的电压—电流特性，分析其与电解液浓度和工具电极反应面积之间的联系，得出了最优的加工电压与工具电极反应面积关系。在基于力反馈控制进给系统的电化学放电加工技术的研究中，首先阐述了加工原理，构建了实验平台，与恒速进给的电化学放电加工的效果进行对比，实验结果表明，基于力反馈控制进给系统的电化学放电加工技术提高了电化学放电加工的加工质量、加工效率和重复性等。提出了振动辅助电化学放电加工新方法，通过一系列实验研究了机械振动台参数对加工性能的影响。将新方法与普通电化学放电加工的效果进行实验对比，结果表明，振动辅助电化学放电加工技术提高了电化学放电加工的加工深度和加工质量。