基于白光扫描干涉的薄膜测量方法研究

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随着薄膜器件在光通信、航空航天、生物医学、新能源等前沿领域的广泛应用,薄膜技术的相关研究也日益深入。薄膜的厚度参数直接影响薄膜器件的性能,因此对厚度的检测尤为重要。白光扫描干涉技术是一种光学测试方法,具有无损、高精度等优势,已广泛应用于微纳检测领域。本课题围绕白光扫描干涉技术展开,研究薄膜厚度的测量方法并实现测量。论文的主要工作如下:1.对常用的薄膜测量方法进行简单介绍并分析优劣势,介绍了白光扫描干涉技术的发展现状以及相关基本理论。2.建立了薄膜白光干涉信号模型,仿真分析了几种相干峰探测算法在不同扫
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