工业CT作为一种无损扫描成像技术,从1972年第一台CT机诞生以来,已广泛应用于生产和生活中。随着科技和社会的进步,制造工艺也在不断改进和精细化,普通的工业CT已不能满足日渐复杂精密的工件结构扫描需求,因此,研究具有更高定位精度和扫描精度的微焦CT已成为当前的迫切需求。针对这些需求,本文研究了以NewportXPS为核心控制器的微焦CT控制系统的研制。首先,对微焦CT控制系统的射线源控制、探测器控制以及电源控制等运动控制进行了需求分析,并着重对运动控制的定位精度、实时性和同步性进行了研究。此外,系统还对系统的数据采集、人机界面、扫描监控、安全联锁等功能进行了可行性论证及分析。微焦CT控制系统以XPS-Q6为核心控制器,构成分层分布式控制系统。上层控制采用工作站,实现整个控制系统的操作控制。工作站安装有操作控制软件,它直接面向用户,根据用户的要求完成参数设置、操作控制、数据采集、图像重建等。下层控制器采用Newport的XPS-Q6六轴控制器。系统根据工作站的指令完成运动控制、数据采样控制、状态查询、安全联锁、电源控制等。其硬件组成有:微焦点射线源、探测器、精密机械机构、控制器、计算机(含数据采集)和图像重建与处理等子系统。系统的软设计为:工作站和下位机的软件控制均采用VS2010环境下的面向对象程序设计语言C++实现,且工作站与下位机之间采用以太网口实现通信,射线源与工作站之间采用RS-232串口通信协议,探测器与工作站之间使用Carema Link连接方式。此外,本文还对系统的直线运动和旋转运动的随机误差进行了测量和初步校正,以实现具有更高精度扫描和更高图像质量的微焦CT控制系统。最后,在实际工程项目的基础上,对几种运动控制方案进行了运行和测试,并取得了比较理想的效果,达到了微焦CT控制系统的要求。