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精密及超精密加工及其检测装置是科技快速发展的需要,宏微结合的精密定位系统因其具有大位移和高精度的优势而受到广泛关注。目前国内外对于宏微精密回转进给的相关研究还非常少,本文研究的宏微精密回转进给系统有一定的理论意义和实际应用价值。本文首先在柔性铰链及压电陶瓷驱动器工作原理基础上,设计了一种包含多个柔性较链的能将压电陶瓷驱动器的直线运动转换成回转运动的转换机构;分析了该转换机构的运动原理及输入和输出的关系,并用实验对理论计算进行了验证;用静力学对柔性铰链转换机构的变形和受力进行了理论分析,并用有限元软件