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纳米多层膜的高硬度和材料组合的多样性使其在刀具涂层等表面改性领域有广阔的应用前景,而这类材料通过微结构强化获得高硬度的超硬效应更具理论研究价值。近年来的研究表明,利用纳米多层膜晶体生长的“模板效应”可以使通常其相沉积条件下以非晶态存在的材料晶体化,并使多层膜获得超硬效应。然而,采用此方法获得具有超硬效应纳米多层膜的具体材料组合仍需进行实验探索。另一方面,由于刀具在服役中要承受很高的温升,纳米多层膜的高温稳定性是这类材料用于生产的关键性能之一。本文采用反应溅射方法制备了VN/S