【摘 要】
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太赫兹波因其具有穿透性强、分辨率高等技术特性,在国防、无线通信等领域有着广阔的应用前景。其中,无线通信系统是目前研究重点之一,波纹喇叭作为通信系统中发射与接收信号的关键零部件,直接影响着整个系统的通信质量。波纹喇叭的内腔结构决定其性能与加工难度,随着频率的提高,其尺寸逐渐缩小,当频率提升到太赫兹频段后,其尺寸可达到微米级,传统加工技术已难以满足太赫兹波纹喇叭的加工要求。为完成太赫兹波纹喇叭的加工,
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太赫兹波因其具有穿透性强、分辨率高等技术特性,在国防、无线通信等领域有着广阔的应用前景。其中,无线通信系统是目前研究重点之一,波纹喇叭作为通信系统中发射与接收信号的关键零部件,直接影响着整个系统的通信质量。波纹喇叭的内腔结构决定其性能与加工难度,随着频率的提高,其尺寸逐渐缩小,当频率提升到太赫兹频段后,其尺寸可达到微米级,传统加工技术已难以满足太赫兹波纹喇叭的加工要求。为完成太赫兹波纹喇叭的加工,本文将喇叭内腔难以加工的三维微结构离散转化为二维镍叠片,先利用UV-LIGA技术制造镍叠片,再将镍叠片键合成型,最终成功制造出太赫兹波纹喇叭。主要工作内容如下:（1）研究光刻工艺,分析光刻工艺参数对胶膜质量的影响,优化工艺流程,确定制备258)厚光刻胶膜的具体工艺。（2）开展真空冲液电铸镍实验,设计并搭建真空冲液装置,研究不同工艺参数对镍电铸层质量的影响。结果表明:真空冲液电铸技术能显著提高电铸层的表面质量,改变镍电铸层的微观结构,提高其显微硬度。（3）添加辅助阴极以提高镍叠片厚度均匀性。对电铸过程进行仿真,优化辅助阴极尺寸,并根据仿真结果进行电铸对比实验。结果表明:电铸过程中添加辅助阴极可以显著提高镍叠片厚度的均匀性,最后将辅助阴极应用于真空冲液装置中。（4）基于上述研究结果,加工出高质量厚度均匀的镍叠片,对镍叠片进行金-金热压键合,制造出太赫兹波纹喇叭。
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