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冷等离子体法制备氮化硅以及磷和硼掺杂的锗纳米颗粒

来源 :浙江大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yyagan

【作 者】

：

汪训海 

【出 处】

：

浙江大学

【发表日期】

：

2018年09期

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