ZnS光电薄膜的制备及掺杂对其性能的影响

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【摘要】

：

本文采用真空蒸发法在石英玻璃上沉积了ZnS薄膜,并利用原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)对制备的薄膜进行了表面结构和断面情况的观测,同时测量了薄膜的吸收透射谱和光致发光谱。观测结果显示,实验制备的ZnS薄膜均匀致密,颗粒细小,质量良好,同时可以根据测量的数据得出制备的薄膜为六方(纤锌矿)结构的α-ZnS。通过对在玻璃衬底上沉积的ZnS薄膜进行掺杂,掺杂元素为Na和Li,获得ZnS:N

【作者】

：

张天红

【机构】

：

电子科技大学

【发表日期】

：

2010年04期

【关键词】

：

ZnS薄膜退火掺杂真空蒸发法

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