微波LTCC建模关键技术

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低温共烧陶瓷LTCC(Low Temperature Co-fired Ceramic)技术作为多芯片组件(MCM)技术中最具发展优势的技术,目前已经成为微波和高速高密度集成技术研究发展的主流和热点。如今,国内已经具备了很成熟的微波LTCC工艺线,然而对于LTCC的研究工作总是跟着工程进行,没有进行系统的建模和建库,这直接增加了项目的研发周期和成本,影响了微波LTCC技术的推广和应用。本文的主要工作是微波LTCC设计平台中建模建库项目的部分工作,本文的设计目标是:1.建立宽带的(5GHz-12GHz)性能良好的(回波损耗小于15dB)层间互连模型;2.建立LTCC多层滤波器模型,此模型可根据用户要求指标,直接得到滤波器结构及物理参数。主要的研究内容如下:1.采用了四端口定向耦合器和耦合线理论,提出了共面波导,微带线及自身之间的层间互连结构物理模型,研究了耦合段的物理参数对结构微波性能的影响,仿真优化得到了在5GHz到12GHz,回波损耗小于15dB的LTCC层间互连结构。2.采用低通滤波器原型及理论,提出了高低阻抗线和开路短截线两种形式的低通滤波器;采用对滤波器Q值(外部品质因素)和M值(耦合系数)的提取方法,提出了交指型和发夹型带通滤波器,研究了I/O端(输入输出端)的物理参数和Q值的关系以及谐振器的物理参数和M值的关系,仿真优化得到了中心频率为5GHz,带宽20%和10%的交指型滤波器和中心频率为2GHz,带宽20%的发夹型滤波器。3.采用柯西插值函数法建立了LTCC层间互连结构的物理参数与其S参数模值之间的映射关系;对滤波器的综合方法编写了MATLAB实现程序,采用柯西插值函数建立了LTCC多层滤波器的物理参数与其Q(外部品质因数)和M(耦合系数)参数模值之间的关系。通过研究模型精度与柯西插值函数阶数的关系和样本的合理性,使得到的模型精度达到了90%以上。4.采用Ferro A6M材料加工制作了LTCC层间互连结构和LTCC多层滤波器,采用Anristu3680系列的通用测试夹具对它们进行了测试,将得到的测试结果与仿真结果进行了比较,得到了误差,并分析了产生误差的原因。
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