【摘 要】
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本文利用微波电子回旋共振(MW-ECR)等离子体增强非平衡磁控溅射系统,以h-BN,Ti,Si为靶材,氮气和氩气为工作气体,分别沉积制备了BN薄膜,Ti-B-N三元组分扩展薄膜和SiNx薄膜。利用傅立叶红外吸收光谱(FTIR),X射线光电子能谱(XPS),纳米硬度仪及台阶仪等表征方法研究了不同沉积参数下制备的不同薄膜的键合结构,元素配比,硬度和膜厚的变化,并且利用两端子法研究了Ti-B-N薄膜的电
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本文利用微波电子回旋共振(MW-ECR)等离子体增强非平衡磁控溅射系统,以h-BN,Ti,Si为靶材,氮气和氩气为工作气体,分别沉积制备了BN薄膜,Ti-B-N三元组分扩展薄膜和SiNx薄膜。利用傅立叶红外吸收光谱(FTIR),X射线光电子能谱(XPS),纳米硬度仪及台阶仪等表征方法研究了不同沉积参数下制备的不同薄膜的键合结构,元素配比,硬度和膜厚的变化,并且利用两端子法研究了Ti-B-N薄膜的电阻率随Ti、B组分的变化。研究表明,利用h-BN靶和氮气制备BN薄膜时,给基片加热和增大氮分
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植被作为生态系统中物质循环与能量循环的中枢,在物种的生存与延续中有着至关重要的作用,植被覆盖的状况在很大程度上反映了区域生态环境的现状。松花湖流域是我省重要的饮用水源地和国家级自然保护区,流域内植被覆盖状况的研究,对保护生态、环境、经济和社会的发展具有非常重要的意义。本文利用遥感方法,选取植被作为研究对象,基于归一化差值植被指数(NormalDeference Vegetation Idex,ND
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近年来地震、火山、滑坡和地面沉降等地质灾害越来越严重地威胁着人类的生存空间,针对这种灾害而发展起来的地表形变监测和测量技术就显得尤为重要。合成孔径雷达干涉测量(Interferometric Synthetic Aperture Radar,InSAR)是20世纪发展起来的一种新型的空间对地观测技术,它具有高空间分辨率、高精度和面矩阵测量等优点。雷达干涉测量已经广泛的应用于地形测绘、地球表面的形变
CuInS2是一种性能优越的太阳能电池材料,其具有光吸收率高,禁带宽度接近太阳能电池最佳禁带宽度,直接带隙半导体,即可制成p型薄膜也可做成n型薄膜,理论转化效率高,成本低等特点,被人们称为最有希望的光伏器件材料之一。本文旨在探求应用低能耗、环境友好的化学浴沉积方法,设计合理的实验路线,优化实验参数,制备出高结晶度的硫化铜与氧化锌薄膜,并研究其光学及电学特性。本论文的主要研究内容可分为以下两大部分:
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