MEMS(微机电系统)是21世纪科技与产业的热点之一,它的应用已经并正在给很多产业带来巨大的变革。在军事上,应用MEMS技术可以减小规模、降低成本和能量消耗、提高安全性、可靠性和灵敏度。MEMS引信发火装置具有体积小、成本低、可靠性高等诸多优点,研究此装置对引信的小型化及弹药的智能化和灵巧化有重要意义。本文在调研MEMS引信发火装置国内外进展的基础上,借鉴法国LAAS-CNRS实验室研制成功的MEMS发火装置,探索设计和制作用于我国导弹引信的MEMS引信发火装置关键部件。本文研究的MEMS引信发火装置由三个一次性的微开关(两个常闭微开关和一个微开关)和点火器构成。在介绍常闭微开关、常开微开关和点火器工作原理的基础上,对微开关和点火器进行结构设计,着重对微开关和点火器结构中的支撑膜和加热电阻进行设计,用CoventorWare软件对设计的不同参数的加热电阻进行电热仿真,通过参数对比设置得出仿真结果,分析总结出加热电阻的设计经验。设计的发火装置总尺寸小于1平方厘米,通过MEMS微开关的逻辑组合,对点火器进行安全控制,实现对点火器的解除保险、恢复保险和绝火功能。对MEMS发火装置芯片的制作上,根据加工单位现有的工艺基础,尝试制作发火装置芯片,加工用到的主要工艺有热氧化、LPCVD和PECVD、溅射、光刻、RIE、电镀和ICP刻蚀,在对加工问题分析的基础上,得出了此发火装置的完整加工工艺并得到了一些样品。最后,对制作的芯片进行实验,测量加热电阻的电热特性。通过对加热电阻熔断时的功率时间关系进行分析,总结不同设计参数加热电阻的电热特性,完善了加热电阻的设计经验,为今后的改进设计提供重要参考。