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薄膜特性的实时检测技术是薄膜技术中非常重要的方面。在薄膜生长过程中,需要对薄膜的诸多特性进行实时检测,进而对其生长过程进行精密的控制。本文对薄膜检测技术的理论和方法进行了归纳总结,提出一种薄膜多特性实时检测设备的总体方案,以便于在未来研制出一套结构简单,能够同时检测沉积薄膜的生长率、应力和折射率的实验装置,既可以满足实验研究的需要,又可以应用于在线监测,以解决薄膜特性的精确现场测量问题。具体设计了折射率测量装置椭圆偏振光仪;对LD闭环控制和驱动电路提出改进方案;在生长率检测模