柔性压力传感器作为柔性电子器件的基础元件,在人机交互、医疗检测以及智能显示等领域有着广阔的应用前景,受到学术界和工业界的广泛关注。柔性压力传感器根据工作机制的不同主要分有压阻型、压容型和压电型等,其中压容型传感器因其温度稳定性好,对静态小压力感知灵敏等优点,得到了大量的研究。然而,由于压容式传感器采集的是电容信号,不方便与现有的电路系统集成,增加了外围电路的复杂性,其次,压容式传感器的大面积阵列化制造也面临挑战。为解决以上问题,本文提出了一种基于聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane,PDMS)以及非晶态铟镓锌氧化物薄膜晶体管(a-IGZO TFT)的新型压力传感器,并围绕着高灵敏度、柔性、以及大面积阵列制备三个关键指标,对集成式柔性压容传感器进行了一系列的基础研究和工程优化。主要包含以下三个方面:(1)集成式柔性压容传感器的方案设计与分析。首先设计了集成式柔性压容传感器的电路与结构,然后根据压容式传感器的工作原理以及薄膜晶体管的电学特性,对集成式柔性压容传感器的功能和原理进行了分析。(2)PDMS的压容特性研究与优化。首先对PDMS薄膜的制备工艺进行了设计,重点研究了固化温度对PDMS薄膜压敏特性的影响,期间完成了压力测试系统的搭建。通过不同固化温度下的压敏测试,完成了在80-200℃范围内固化温度的优选。随后研究了表面微结构对PDMS薄膜压敏特性的影响,采用光刻胶通过光刻显影工艺制备了微结构模具,完成了微结构PDMS薄膜的制备,进一步提升了PDMS薄膜的压敏特性。(3)集成式柔性压容传感器的制备与分析。首先设计了集成式柔性压容传感器的工艺版图。然后以聚酰亚胺为柔性衬底,匹配了柔性薄膜晶体管的制备工艺,完成了集成式柔性压容传感器的制备。之后考察了不同沟道宽长比对薄膜晶体管亚阈值摆幅的影响,分析了等离子体处理沟道界面层对薄膜晶体管阈值电压的影响,进而优化了集成式柔性压容传感器的器件性能。最后测试和总结了集成式柔性压容传感器在亚阈值区和线性区的压敏特性,检验了器件的稳定性并初步验证了阵列化应用的可行性。