由嵌套式掠入射反射镜构成的X射线光学镜头是X射线望远镜系统的核心部件之一。嵌套式掠入射反射镜一般为亚毫米厚度的薄壁型结构,在外力作用下极易变形,传统的研磨抛光工艺难以加工,通常采用复制成型,即转移高精度模具面形的方法进行制造,因此面形转移技术是制造嵌套式X射线掠入射反射镜的关键。针对筒形X射线掠入射反射镜的制备,论文提出了一种基于化学沉积镍磷合金的制造方法,相对现有的嵌套镜电铸镍制造工艺,化学沉积方法工艺简单、沉积层厚度均匀、应力可控,可以获得性能更佳的镍基嵌套镜。论文对化学沉积镍磷合金的实现原理、工艺组成、关键技术等进行了系统阐述,根据嵌套镜的结构特点,制定了嵌套镜的制造流程。化学沉积镍磷合金技术大体上可以分为前处理、化学沉积和后处理三个技术环节,论文对各个环节的关键工艺进行了较为充分的实验验证,进一步优化了工艺数据。通过一系列工艺实验,明确了镍磷合金层的磷含量与主盐、还原剂、络合剂等溶液化学成分的关系,同时还分析了溶液pH值、温度以及搅拌状态等因素对化学沉积工艺的影响。通过调整主盐和还原剂的用量、优选络合剂种类等参数实现对镍磷合金的沉积速率以及磷含量等技术指标的控制,最终选择柠檬酸和柠檬酸钠作为络合剂,获得了较好的沉积速度,且易于控制镍磷合金中的磷含量;采用碘酸钾和硫脲提高了溶液的稳定性,延长了溶液的使用寿命;pH值过低降低沉积速率,过高影响溶液的稳定性,其变化对磷含量的影响较为关键;在适合的工作温度范围内,沉积速率与温度近似成正比,而温度差异对镍磷合金性能的影响较小;搅拌可以保证溶液浓度分布均匀,加速反应气体脱离沉积层表面,使镍磷合金均匀,表面无气孔等缺陷。基于实验数据,论文搭建了一套化学沉积镍磷合金的自动化设备,完成了一种镍磷合金的制备,合金层厚度均匀平整,内应力小,表面光洁致密,无气孔和麻点等缺陷,耐蚀性好,基本满足使用要求。实验结果表明,研制的化学沉积工艺自动化程度高;镍磷沉积速率适中;溶液成分简单、稳定性好、容易维护,能够满足嵌套镜的小批量连续制造需求。