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大位移低电压的静电斥力微驱动器的设计与仿真研究

来源 :太原理工大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sxh6916

【作 者】

：

于洋 

【出 处】

：

太原理工大学

【发表日期】

：

2016年01期

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