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有序L1_0结构的FePt以其较高的磁晶各向异性而成为超高密度垂直磁记录的候选材料。研究发现,基底、衬层、颗粒膜的母体、掺杂的元素和颗粒的尺寸都对FePt薄膜的有序度、垂直取向、颗粒尺寸、信噪比以及有序化温度等有影响。因此通过设计样品的结构和调整制备方法,我们可以得到具有大矫顽力和高信噪比且颗粒尺寸小的FePt薄膜,以满足高密度磁记录材料的要求。本论文采用对向靶磁控溅射法制备了FePt–C、FePtMn–C、FePtN–CN和Ag/FePtN–CN颗粒膜,对它们的化学成份、表面形貌、微观结构