【摘 要】
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激光诱导击穿光谱技术(Laser Induced Breakdown Spectroscopy, LIBS)是一种正在蓬勃发展的物质成分分析技术,它具有无需样品制备、原位实时分析、分析时间短、非接触式测量
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激光诱导击穿光谱技术(Laser Induced Breakdown Spectroscopy, LIBS)是一种正在蓬勃发展的物质成分分析技术,它具有无需样品制备、原位实时分析、分析时间短、非接触式测量以及多元素同时测量等特点,在工业冶金、太空探索、环境监测、爆炸物检测等领域得到越来越广泛的应用。现有的冶金在线成分分析LIBS设备,可分为浸入式探测系统和望远镜探测系统两类。望远镜探测系统更适用于探测真空冶炼设备中的熔融金属,其关键部件之一是实现激光聚焦和等离子体信号收集的光学系统。本论文的工作内容是为实现工业冶金现场LIBS远程非接触式测量搭建一套可自动聚焦的LIBS遥测系统,并通过LIBS实验验证遥测系统性能。该系统不仅适用于工业冶金在线分析LIBS应用,而且适用于其他LIBS远程分析领域。论文主要的工作包括:1.完成LIBS遥测系统中的可调焦望远镜系统搭建,该望远镜可在1.5m-3.6m范围内对待测样品进行LIBS光谱测量。望远镜系统的激发光与等离子体信号光共光路,为实现不同距离的样品的自动测量奠定了基础。望远镜系统整合了一个成像模块,可以对实验前后的被测样品进行拍照,用于观测固态样品上激光在样品表面上烧蚀产生的凹坑大小和形状。2.将Schwarzschild光学结构中的两球面反射镜的共心关系改为两镜球心共轴,通过凸面反射镜在电动平移台上移动,改变两块反射镜的间距来调节望远镜焦距。反射镜间距调节精度小于5μm,对应系统焦距调节精度小于lmm。与现有的LIBS远程测量系统中的光学结构相比,结构紧凑,易于加工、安装和调试。3.实验验证了系统自动聚焦算法,在实验室环境下使用无氧铜样品进行了实验,得到了LIBS光谱并确认了Cu元素特征谱线。望远镜成像模块获得了样品表面被激光烧蚀产生的凹坑的图像。本论文工作的创新点在于设计与搭建了LIBS遥测系统,并实现了系统的快速,准确自动聚焦功能。
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