【摘 要】
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高温超导体YBa2Cu3O6(.9简称YBCO)因具有较高的超导转变温度(Tc > 90K)能工作在液氮温度(77K)而受到广泛重视。其应用范围含盖了强电、弱电及抗磁应用。在弱电领域,YBCO外延
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高温超导体YBa2Cu3O6(.9简称YBCO)因具有较高的超导转变温度(Tc > 90K)能工作在液氮温度(77K)而受到广泛重视。其应用范围含盖了强电、弱电及抗磁应用。在弱电领域,YBCO外延膜可用来制作高性能的超导微波滤波器。在微波通讯频段内,77K时高温超导材料YBCO的表面电阻(Rs)值比Cu材料的要小2-3个量级,因而用YBCO为材料制作的超导微波滤波器与Cu材料制作的微波滤波器相比具有灵敏度高、抗干扰能力强、承载功率大等特点。本论文论述了用光辅助MOCVD发制备用于制作高温超导微波滤波器的高质量YBCO双面膜的工艺探索过程。对比了垂直式反应室和倾斜进气口反应室在生长大面积膜时的区别。分析了MOCVD法制备的纯c轴向YBCO外延膜表面山头的形成过程及去除手段。通过两次生长的工艺制备出了两面超导质量都良好的纯c轴向1″YBCO双面膜。
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