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本论文重点研究了ZnO薄膜与注入产生的Ag纳米颗粒等离子共振吸收耦合效应对其发光性质的影响。具体研究内容与结果如下:(1)结合磁控溅射技术和后续的热处理在蓝宝石基底上制备了质量较好的150 nm厚的ZnO薄膜,随后分别采用42、63和120 keV的Ag离子对制备态的ZnO薄膜进行了垂直注入,63 keV的Ag离子注入采用了三种剂量,分别为1.0×10~(16)、2.0×10~(16)和5.0×10~(16) cm~(-2);而42和120 keV的Ag的注入剂量固定为2.0×10~(16) cm~