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随着超精密、微纳米加工技术和微机电系统等的发展应用,迫切需要微纳米级表层质量的检测和评价方法。在微纳米尺度下,材料会出现尺寸效应和表面效应等,其力学性能与宏观材料有着本质的不同,传统的硬度检测和评定方法已不再适用。纳米压痕技术是一种先进的材料微纳米硬度测量方法,可以满足对微小零件表面力学性能的检测。本文针对微小零件加工技术的发展和应用需要,研制了一套用于微小零件表面力学性能检测的电磁式微纳米硬度检测系统,并应用此检测系统进行了纳米压痕试验研究。在比较分析了各种微位移驱动方式和