磁控溅射技术以其“高速”,“低温”两大特点被广泛应用于在薄膜制备领域。而目前磁控溅射离子镀中广泛采用的直流偏压电源已不能充分发挥磁控溅射的优越性,制约了低温磁控溅射的发展。因此高频、大功率的脉冲偏压电源已成为磁控溅射用偏压电源的发展方向。本文采用了TI公司的高性能DSP-TMS320F2812,设计了一款用于磁控溅射离子镀高频、大功率的数字化脉冲偏压电源。结合脉冲偏压电源的指标要求,首先分析和研究了脉冲偏压电源在高频和大功率条件下的的实现方案,并对高频大功率的主电路和控制系统进行了理论设计和参数估算。为了提高电源系统的稳定性及抗干扰能力,建立了电源系统的小信号模型,进而进行数字控制器的设计,得到了良好的PID参数,获得了良好的控制性能。并使用PSPICE及MATLAB对电源系统进行了详细的仿真分析。在此基础上,采用DSP技术对脉冲偏压电源进行数字控制。选择TI公司的DSP芯片TMS320F2812为控制核心,给出了各单元如驱动电路、采样及信号调理的硬件设计。软件设计则主要设计了PWM驱动信号、A／D采样和数字PID控制等功能的实现。最后在仿真和理论分析的基础上搭建了试验平台,试验结果验证了仿真分析和控制方案的正确性和可行性。