【摘 要】
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该文对微光机电系统中微光学元件的设计理论进行了研究.将遗传算法和局部搜索算法相结合,提出了一种局部搜索遗传算法(Genetic Local Search Algorithm),并将其用于微光学元
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该文对微光机电系统中微光学元件的设计理论进行了研究.将遗传算法和局部搜索算法相结合,提出了一种局部搜索遗传算法(Genetic Local Search Algorithm),并将其用于微光学元件的优化设计.该文也开展了光学微机械元件制作工艺方面的研究.同时也研制成功了多种类型的微铰链及与其底相垂直的三维位相型微光学元件.该文对微光机电系统在光纤通讯中的一个应用-可调式光衰减器进行了初步的研究.提出了一种提出一种新型的电磁驱动式微机械可调式光衰减器结构,该器件通过连续改变能光面积实现光衰减量的调节.该文产用高深宽比光刻技术及掩模电镀工艺,制作了电磁型微驱动器的线圈及铁芯结构,结合硅的各向异性腐蚀工艺及非硅表面微机械加工工艺制作了弹性导轨、及挡光片.用硅的各向异性腐蚀工艺制作了包括Ⅴ形槽在内的光纤对准机械,目前第一次工艺流片已经完成,证明该文提出的方案是可行的.
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