光学测量系统对于工业和科研的重要性日益显著。目前,激光传感器可以很好地适应工业环境,它可以测量物体表面的位移、速率和表面结构。激光传感器在测量物体距离和表面形貌的应用中,其显著的优点有:系统结构简单、体积小、非接触、重量轻、高分辨力、受环境电磁场影响小、工作距离大、测量准确度高、并可在线进行测量和它可以弥补接触式测量等许多缺陷。本文研究了激光三角法测量原理,通过对Scheinpflug条件的验证了激光三角法测量装置的实用性。并从系统的输入输出关系这个角度,论证了系统的非线性。通过对线阵CCD的参数进行分析,确定了系统的关键参数。并重点分析了物面倾斜对测量结果产生的影响,提出了解决方案。选用均值滤波器,并做出特性曲线。由于特性曲线的残差具有一定的规律性,做出残差曲线来作为补偿应用于实际测量中。在本文的最后,对激光三角法测量系统进行了详细的不确定度分析,论证了本文所采用的方法的可行性。