臭氧(03)以其强氧化性及不产生二次污染等优点已广泛应用于环保、医疗、食品和化工等领域。目前工业用03产生的主要方法是气体放电法，即含氧气体通过放电反应器产生03的方法。 通常含氧气体包括空气、富氧、纯氧。气源对03的产生性能和生产成本有较大的影响。在一定场合下，以空气为气源的臭氧发生器具有使用便捷、成本低等优点，但是空气放电产生O3的同时，会生成氮氧化物(NOx)。NOx不仅对环境造成污染，危害人体健康，还会影响03的合成，并加速对设备的腐蚀。如何在产生03的同时有效地控制NOx的产生是目前臭氧技术研究领域内的难点之一。 放电形式对臭氧的产生也有重要影响。沿面放电是近年来气体放电产生臭氧技术中的研究热点之一。采用沿面放电形式的臭氧发生器具有制造安装要求较低、体积小、成本低、有利于散热等优点，常用于开发空气源型臭氧发生器。 本文首先探讨分析了沿面放电的作用机制和空气放电产生臭氧的机理。分析结果表明：1)沿面放电的起始放电电压低，有利于03的产生；2)氮气(N2)，包括激发态N2*和氮原子(N)对臭氧的产生过程有一定作用，加快臭氧生成速率的同时，使放电伴随生成NOx，加速对臭氧的分解；3)电子数密度、电子能量大小及分布等对空气中放电臭氧和NOx的产生有重要影响，它们主要取决于折合电场强度(E／N)，可以通过改变外加电压幅值和频率、气体压力等来改变；4)气体在放电区域的停留时间、气体性质和温度等对臭氧和NOx的生成有重要影响。