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在低量施主掺杂可以提高元件灵敏度的基础上,重点研究了较高浓度施主掺杂对元件性能的影响,并对敏感机理进行了深入分析。利用正交实验,确定高浓度施主掺杂的最优配方,得到灵敏度和重复性均较好的样品。以此为基础,比较分析了贵金属催化剂Pt和Pd对元件性能的影响,结果表明Pt优于Pd,与理论计算相符;而元件的老化性能测试表明,相隔2个月,元件性能下降较明显,不利于实际应用。从制备工艺角度,考察了烧结温度对元件性能的影响,最佳烧结温度应在1250℃;比较分析了固相合成法和溶胶-凝胶法的优缺点,溶胶-凝胶法仍需继续