【摘 要】
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电镀金刚石线锯具有锯缝损耗小、磨粒把持牢固、锯切效率高等优点,广泛应用于晶体材料的切片加工。金刚石线锯技术是各种晶体切片加工的主流技术,但目前该技术的相关研究多集中在材料去除机理、晶片裂纹损伤等方面,而晶体多为各向异性材料,在金刚石线锯切片加工时晶体的各向异性可能会使线锯受横向作用力,导致线锯在晶片厚度方向上产生偏移而形成较大的晶片面形偏差。晶片面形偏差会增大后续精密加工成本并影响晶片的定向精度。
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电镀金刚石线锯具有锯缝损耗小、磨粒把持牢固、锯切效率高等优点,广泛应用于晶体材料的切片加工。金刚石线锯技术是各种晶体切片加工的主流技术,但目前该技术的相关研究多集中在材料去除机理、晶片裂纹损伤等方面,而晶体多为各向异性材料,在金刚石线锯切片加工时晶体的各向异性可能会使线锯受横向作用力,导致线锯在晶片厚度方向上产生偏移而形成较大的晶片面形偏差。晶片面形偏差会增大后续精密加工成本并影响晶片的定向精度。本文以单晶硅和KDP晶体的金刚石线锯切片加工为例,通过分析晶体各向异性对锯切力的影响,实现了对两种晶体在
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