本文围绕集成电路产业全要素生产率对我国30个省市的投入产出指标及影响因素样本数据进行实证分析。首先通过文献学习，梳理集成电路产业发展及全要素生产率研究综述，明确文章的研究背景及研究目的，确立本文的研究内容与研究方法、研究思路及创新点，阐述本研究内容所涉及全要素生产率相关理论，为后续模型建立与实证研究奠定理论基础。本文选取DEA-Malmquist指数模型作为我国集成电路产业TFP分析的主要方法，并根据前人经验与调研结果，确定决策单元为我国主要30个省市，选择主营业务收入、从业员工人数、资产总计和R&D经费内部投入作为投入、产出指标，选取国内生产总值、进出口总额、产业利润、R&D人员、专利申请数、技术引进经费投入以及政策实施作为全要素生产率的主要影响因素，并将影响因素进行对数化处理以确保指标数据的有效性。本文从地域与时间两个维度对集成电路产业全要素生产率及指数分解变化进行研究，并对影响我国集成电路产业全要素生产率的主要因素进行回归分析，并依据实证分析结果得到四个主要结论：第一，我国各省市之间集成电路及相关产业投入与产出能力存在较大差距；第二，我国集成电路产业全要素生产率整体发展需进一步提高；第三，我国集成电路产业全要素生产率受到特定时期内国内外经济与社会环境变化影响；第四，科研人员水平、知识产权、技术引进投入以及政策实施是影响我国集成电路产业全要素生产率的主要因素。最后，结合理论研究及实证分析结果，从四个主要影响因素角度出发，尝试提出相应的政策措施与建议，并对未来研究做进一步展望。