低噪声X射线像素单元读出电路的设计

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X射线探测器系统是一种将X射线能量转化为数字化信号图像的装置,目前广泛应用于安全检查,医疗系统,航空航天和工业控制等领域。X射线读出电路是整个探测器系统的核心部分,它首先将前级探测器的输出信号进行放大以及降噪处理转化为模拟信号,然后通过模数转换器将此信号进行数字化。现如今,对X射线读出电路的性能要求越来越高,高成像质量、高刷新率、宽输入检测范围成为普遍的发展趋势。为了满足X射线读出电路的特殊性能需求,本文设计了积分型X射线读出电路中的核心像素单元模块,具体包括电容跨阻放大器(Capacitance Trans Impendence Amplifier,CTIA)模块、相关双采样(Correlated Double Sampling,CDS)模块和逐次逼近型(Successive Approximation Register,SAR)ADC模块。其中,CTIA模块将微弱的电荷信号进行积分放大,转化为可被检测到的电压信号,本设计的CTIA模块在刷新率为100k Hz的工作速度下,可以实现探测信号的超高转换线性度,并且增加了积分电容自适应功能可以大大提高输入信号的检测范围;CDS模块可用于消除像素级的偏差,降低读出电路的噪声,提高输出信号的信噪比。本设计的CDS模块可在不改变输出信号线性度的前提下,将噪声等效输出积分噪声由36.4μV降至18.9μV;SAR ADC模块的作用为将前端电路的模拟信号进行量化,转换成数字输出码。在像素级读出电路中,ADC需要面积小、功耗低,而所设计的10bit 100k S/s SAR ADC功耗约为10μW,面积只有95μm×60μm,满足系统要求。像素单元中此三个模块协同工作,便可将探测器微弱的电荷信号转化为不易受干扰的数字信号。本文基于130nm 1P8M CMOS工艺,对像素单元中的CTIA、CDS和SAR ADC等模块进行了电路设计、版图设计和前后仿真验证。所设计的读出电路像素单元在3.3V电源供电下,工作帧频率达到100k Hz,线性度可达99.9%,输出电压摆幅超过1.5V,总功耗只有122μW,单个像素单元的尺寸可控制在150μm×150μm之内。像素单元各个电路模块的性能可满足X射线读出电路的应用要求。
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