面内振动旋转型压电电机研究

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与电磁电机相比,压电电机具有响应速度快、定位精度高和无电磁干扰等优点,已被广泛应用于精密驱动平台、航空航天、智能机器人和光学仪器等领域。近年来,随着智能仪器的发展,作为其中的关键执行部件微电机的需求也越来越多。但部分压电电机由于结构和原理的限制不易微型化,而基于面内振动的压电电机由于结构紧凑、模态激励简单,是最易于微型化的一类。其中,最典型的面内振动电机是Nanomotion公司研制的纵弯复合型电机,但该类电机多为矩形板结构的直线电机。电机的板状构型方式和直线驱动模式,使得该电机在某些场合下,不能满
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