在高等教育信息化逐步深入的背景下,信息技术在很大程度上促进了高校的教学改革。网络与计算机技术的加入极大地提高了知识更新的速度,突破了教育环境的时空限制,迅速地改变了传统的教学模式、教学内容和教学方法,并且引起了教学思想、教学理念甚至教学体制的深刻变革。《微电子工艺》作为当前高校电子科学与技术专业的一门专业核心课程,探索新的教学模式,寻求一条提高教学效率的道路势在必行。本文在借鉴国内外已有研究成果的基础上,首先,通过问卷调查与访谈的形式,从课堂教学、网络教学和实践教学三方面系统探析并总结了影响该课程教学效果的主要因素；其次,根据前面的调查结果,以相关理论为基础,尝试性的提出混合式立体化教学模式,并对该模式的内涵、体系结构和教学过程进行了一系列的阐述；接着,在混合式立体化教学模式的指导下,设计并制作了《微电子工艺》课程教学资源库,并对该资源库的设计原则、课程的主要教学内容及相应的媒体选择做了分析与整理；最后,按照教材大纲的要求,分别从混合式的课堂教学、开放的网上自主、协作学习和立体化的实践教学三方面设计并实施了《光刻》一章节的典型双语教学案例,完成了从教学目标到效果评价一系列完整的实践工作。该课题的研究为高校教学全面深度的改革提供了一定的参考与借鉴作用,促进了信息技术在高校教学中的广泛应用。