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MEMS驱动器是一种换能元件,能够将其他形式的能转化成机械能,具有体积小、质量轻、结构简单等优点,适合在引信中应用。本文介绍了一种以双金属膜受热膨胀原理为基础、应用在引信安全系统中的面外电热驱动器。能够实现驱动电压低、驱动位移大、抗过载。采用聚合物SU-8和镍材料作为驱动器的主体材料,给电阻丝通电使其发热,驱动器发生垂直于轴线的面外运动,使偏置层与基座接触,完成信号的输出。文中着重介绍了双金属膜的基本原理,以及驱动器的工作环境,对电热场、阻尼场、加速度场进行分析,得出驱动电压和加速度存在一定对应关系