由MEMS加工工艺制造的氮化铝兰姆波谐振器是一种压电谐振器,它的优点在于微米级的尺寸和CMOS工艺兼容性,现已广泛应用于生物化学检测中。目前大部分基于谐振器的传感器都需要由线缆传输信号和由电源模块提供能量,但这种方式在密封和植入等环境中无法满足需求。而无线无源传感器在这些苛刻条件下有无可比拟的优势,因此近年来无线无源传感器得到广泛的关注和快速的发展及应用。如何实现压电谐振式传感器的无线无源检测,成为目前研究的热点和难点。本文围绕这一研究热点,在阅读大量文献的基础上,致力于当前无线压电式传感器的各种缺陷,提出一种新的无线无源检测压电谐振式传感器的方法。本文首先介绍了基于近场电感耦合的无线无源通信方法的相关理论知识,为之后的平面电感线圈的设计提供了理论基础。随后介绍了氮化铝兰姆波谐振器的工作原理及其设计和制造过程。然后基于电感耦合和压电谐振器的等效电路模型,提出一种新型的等效电路,用于无线无源压电谐振式传感器的仿真和设计。随后利用提出的等效模型结合仿真软件分析了不同电感线圈的尺寸和连接方式对压电谐振器的影响,并在此基础上得到了与兰姆波谐振器匹配的耦合线圈的最优解,利用该最优解确定了耦合线圈的具体结果和尺寸。另外通过搭建的无线无源谐振式传感器实验平台,测试和分析了无线无源兰姆波谐振式传感器的性能,并将其用于气体和红外传感器实验,同时研究了无线谐振式传感器在不同浓度的乙醇气体和不同功率密度的红外照射下的响应。最后,提出了一种无线无源兰姆波谐振式传感器阵列,不同频率的谐振式传感器以并联的方式与同一耦合线圈相连,并通过其他检测验证了该无线阵列的传感应用潜力。