旋转喷涂法制备NiZn铁氧体薄膜及应用技术研究

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随着电子信息产品往高频化、小型化以及集成化方面更加快速地发展,作为三大无源器件之一的电感,却因为传统磁性材料庞大的体积和质量,限制了其在电路系统中的集成化应用。因此,高性能、可集成的软磁薄膜发展需求变得日益迫切。本论文采用旋转喷涂法制备NiZn铁氧体薄膜,反应过程中加热温度不超过150°C,工艺流程与半导体工艺相兼容。在低温沉积NiZn铁氧体薄膜的基础上,本论文通过仿真设计了平面薄膜电感,采用微电子工艺制备了可应用于片上系统的薄膜电感。本论文采用旋转喷涂法制备NiZn铁氧体薄膜,分别了探究主配方(F
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