【摘 要】
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本课题研究了一种基于MEMS技术的具有双桥结构的硅气体流速传感器。从理论上阐述了微悬桥结构气体流速传感器的工作原理,设计了微悬桥的结构、工艺版图以及其电路系统。根据
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本课题研究了一种基于MEMS技术的具有双桥结构的硅气体流速传感器。从理论上阐述了微悬桥结构气体流速传感器的工作原理,设计了微悬桥的结构、工艺版图以及其电路系统。根据实际工艺条件及工艺设备,制定了切实可行的制作工艺方案,通过反复实验研制出传感器,利用Protel制作了电路板并进行了实际电路的调试,并到风洞对传感器进行标定。实验中采用温度电压融合技术使得重复性误差将进一步减小,实验得到的结果为:传感器的线性度为0.0023%F.S,中低风速时重复性误差为0.87%F.S,满足了设计要求。这验证了采用MEMS技术研制的双桥结构的气体流速传感器的工艺方案可行性,该项技术具有集成化和大批量生产的特点,有进一步应用的价值。
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