一直以来高精度、自动化的生产工艺都是人们所追求的目标,高速的精密测量手段则是达成该目标的重要环节。传统工业成产过程中,测量工序往往滞后于生产过程,这极大地降低了系统的自动化程度。为了克服传统测量方式的不利因素,本文在研究了国内外多篇文献的基础上,对基于FPGA的在线测量系统进行深入研究。以夫琅禾费衍射作为测量过程的基本原理,根据物理光学的基础知识推导了测量系统的计算公式并对衍射图样的频谱进行了分析。确定了基于FPGA器件的测量系统方案,设计并实现了分布式原理的FIR滤波器。提出了一种基于加权思想的暗点信息提取算法,并且验证了该算法的可行性。利用最小二乘原则对暗点信息进行细分计算,通过实际数据证明系统测量精度为3um,并且对系统的测量误差进行分析。最后总结全文,就进一步提升测量精度,提出几点方案。