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光学测量技术的一个重要分支是散斑计量。此技术利用相干光照射在粗糙的物体表面,在空间所形成的散斑,或物体表面自然存在的或人造的斑粒,实现物体表面位移和变形检测。在过去的30多年中,除了对散斑场自身的特性和规律给予深入的研究外,有多种散斑测量技术逐渐发展和建立起来,并在不同的领域中获得了广泛的应用。 电子散斑干涉测量技术近二十年来已成为变形场测量的重要方法。电子剪切散斑干涉术是在电子散斑干涉术基础上发展起来的测量位移导数的一种新的测量方法,具有可以全场测量,光路简单,调节方便,对环境要求低等特点。而在ESSPI的定量测量中应用相移技术,可以使测量精度大为提高,因此被广泛用于无损检测领域。 本文就电子剪切散斑干涉的方法及相移技术进行了研究讨论,主要的内容概括如下: 1.介绍了散斑的成因、产生方法及相关概念;回顾了散斑干涉计量的起源于发展;系统介绍了电子散斑干涉的原理及散斑干涉中的位相测量技术。 2.回顾了物体形貌测量的发展过程,介绍了几种形貌测量的方法,重点介绍了投影栅线和傅里叶变换法相结合测物体形貌 3.讨论了基于沃拉斯顿棱镜的剪切电子散斑干涉术,并讨论了方棱镜这种新的剪切元件的剪切原理。 4.介绍了相移原理及相移方法,并对相应的相移算法进行了对比,当系统加相移时,对可能存在的误差进行了讨论。当每步相移的误差相同时,对三步、四步、五步相移进行了讨论,给出了对比结果。