【摘 要】
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本文针对极具应用前景的聚合物微流控芯片,在对国内外研究现状和存在问题进行深入分析的基础上,通过试验和数值模拟两种技术手段,对芯片的热模压工艺、热键合工艺及芯片微通
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本文针对极具应用前景的聚合物微流控芯片,在对国内外研究现状和存在问题进行深入分析的基础上,通过试验和数值模拟两种技术手段,对芯片的热模压工艺、热键合工艺及芯片微通道几何尺寸检测等问题进行了系统的研究。分析了各种工艺参数对芯片构型可能产生的影响,提出非等温键合方法来减小热键合时微通道的变形;将图像处理技术应用于芯片微通道尺寸的检测,实现了微流控芯片微通道尺寸的非接触测量;试验及仿真研究揭示了聚合物微流控芯片微通道在热模压及热键合过程中的变形规律,得到了微通道形状及尺寸等与工艺条件间的相互关系,为聚合物微流控芯片的制作打下了坚实的基础。
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