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Ga-Al共掺ZnO薄膜结构和光学性能的研究
【摘 要】
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氧化锌,是Ⅱ-VI族的重要成员,具有较宽的带隙(3.37 eV)和较大的激子束缚能(60 meV),在各种技术领域均有重要的作用,例如:平板显示器方面、太阳能电池、紫外探测器、短波长的发光材料等。各种方法已被用来制备ZnO薄膜,如分子束外延法(MBE)、磁控溅射法、化学气相沉积法、喷雾热解法、溶胶—凝胶法等。在这些技术中,由于其诸多优点,溶胶—凝胶法受到高度关注,例如低成本、沉积过程简单,易于控制
【出 处】
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辽宁师范大学
【发表日期】
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2019年11期
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