【摘 要】
：
半导体芯片制造与封装领域是影响国家经济发展的重点领域。芯片键合是把半导体芯片固定到基材上或者封装体上的过程。这个过程中要用到芯片键合胶。芯片键合胶既能固定芯片,也能在芯片和基材之间发挥热传导和（或）电传导的作用。键合胶及其键合过程的优劣会影响半导体在终端应用中的性能表现。因此,优化键合胶及键合过程显得非常重要。为了提高键合的强度、键合的稳定性和键合的可靠性,本文从三个方面研究了键合胶及键合过程的优
论文部分内容阅读
半导体芯片制造与封装领域是影响国家经济发展的重点领域。芯片键合是把半导体芯片固定到基材上或者封装体上的过程。这个过程中要用到芯片键合胶。芯片键合胶既能固定芯片,也能在芯片和基材之间发挥热传导和（或）电传导的作用。键合胶及其键合过程的优劣会影响半导体在终端应用中的性能表现。因此,优化键合胶及键合过程显得非常重要。为了提高键合的强度、键合的稳定性和键合的可靠性,本文从三个方面研究了键合胶及键合过程的优化:第一,芯片键合胶材料配方体系的优化。为了提高键合强度,导入新的胶黏促进剂,设计了新型的键合胶配方体系。并运用实验设计和响应曲面法,优化了新型键合胶体系在键合过程及固化过程中的参数,包括点胶量、点胶高度、点胶时间、固化温度、固化时间等。最终使键合强度过程能力指数从0.56提升到2.80。第二,芯片键合点胶过程及点胶工装的优化。为了提高点胶键合稳定性,分析了点胶的微观过程,发现了点胶缺失的新的失效机理;并且,通过点胶头表面状态的优化提高了键合胶在点胶头内部的浸润性,通过键合胶粘度水平的调整提高了键合胶的浸润速率。最终使点胶缺失不良率从6.7%降到0.1%。第三,芯片键合界面的优化。包括晶圆蚀刻过程（半导体前道）和芯片封装过程（半导体后道）的联合优化。为了提高键合的可靠性,需要减少键合后界面脱离的不良率。通过前道晶圆蚀刻工艺和植球工艺的改善,减少了键合界面的粒子污染;通过后道晶圆切割清洗参数的改良,提高了键合界面的清洁度;通过封装助焊剂清洗参数的优化,最终使界面脱离的不良率从13.2%降到0%。
其他文献
＜正＞一、OBE理念概述与项目制教学成果导向教育（Outcome based education,OBE），或称能力导向教育、目标导向教育或需求导向教育，是目前较先进的教育理念之一。[1]与传统灌输式教育模式不同，OBE理念强调成果导向型教育，教学活动主体为学生；以学生的学习成果产出为主要导向，主要通过四个步骤——定义学习产出（Defining）、实现学习产出（Realizing）、评估学习产出（
目的 探讨超声造影（CEUS）及临床参数在直肠癌新辅助放化疗（NCRT）疗效中的预测价值。方法 纳入直肠癌患者61例，依据病理分为病理完全缓解组（pCR组）16例、非完全缓解组（npCR组）45例。采用单因素及多因素Logistic回归分析NCRT后取得pCR的独立预测因素。结果 血清CEA、淋巴结状态、峰值强度（PI）比值、斜率（S）比值和曲线下面积（AREA）比值组间比较，差异有统计学意义（P
目的 通过低浓度CO2气体对钢渣胶凝材料进行预处理来改善钢渣的体积安定性和水化活性。方法 将钢渣与水搅拌均匀后放入碳化反应釜，并在反应釜中通入体积分数为20%的CO2对钢渣进行不同时间的预处理。将经预处理的钢渣取代30%水泥制备净浆及砂浆试样，进行体积安定性测试、力学性能测试及微观结构分析。结果 随着碳化预处理时间的增长，钢渣的体积安定性得到明显改善，仅处理6 min试块的膨胀率就达到了安全使用的
目的:探讨子宫腺肌病患者经HIFU治疗后联合GnRH-a、曼月乐治疗的临床疗效。方法:收集2019年1月-2020年12月在西北妇女儿童医院,诊断为子宫腺肌病患者186人,排除10人,最终176人纳入研究,进行回顾性分析。根据治疗方法不同,分为HIFU组（A组）60例,HIFU+GnRH-a组（B组）60例、HIFU+GnRH-a+曼月乐组（C组）56例。收集3组基本资料,随访各组患者术后VAS评
在中国经济加速转型的今天,中国企业必须加快管理模式的变革,才能在全球化的经济环境中获得竞争优势。不断强化企业运营过程中的资金管控工作对企业的生存和发展至关重要。本文首先对营运管理中资金管控的重点及国有企业资金管控存在的问题进行了分析,最后从营运管理角度出发,对国有企业资金管控提出了相应的建议。
同步定位和地图构建（Simultaneous Localization and Mapping， SLAM）与路径规划在陆地上的自主定位导航上被广泛应用，而自主式水下航行器（Autonomous Underwater Vehicle， AUV）在实现真正的自主定位导航方面还有待提升。提出将侧扫声呐传感系统、SLAM技术和路径规划技术三者结合的自主定位导航技术。该技术先对原始声呐图像数据的杂波、异常
在培养工程实践人才的过程中,提升其能力至关重要。受传统工程教育理论的影响,有关学生工程实践能力提高的机会和方式却非常有限,因此必须改变当前的教学模式,而OBE理论正是符合当前社会对于人才需求的培养模式,能够在外在的工程实践上,就教学目标、教学体系、教学环境以及整体的评价体系等方面进行调整和规划,在内在工程实践能力上,以其基本含义和基本构架为出发点,全面构建并给出提升学生工程实践能力的具体要求和教学
新政府会计制度的颁布,给各个学校财务管理工作开展提出新的要求。在此过程中,要求学校财务人员应加强自身专业水平的提升,结合学校经营发展状况,制订可行性财务控制计划,引导财务管理工作顺利进行,提高学校财务控制水平。文章结合新政府会计制度改革对学校财务的影响,重点分析新政府会计制度改革下学校财务控制存在的问题,并提出新政府会计制度改革下学校财务控制策略。