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掺钨氧化铟透明导电氧化物薄膜性能研究

来源 :山东师范大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xp108999

【摘 要】

：

In2O3透明导电氧化物薄膜是一种重要光学材料,在已知的其他透明导电氧化物如ZnO、SnO2中,In2O3因禁带宽度大,电阻率低,电子迁移率高、在可见光区的透过率高等优良的特性因此在太阳能电池、透明薄膜晶体管、激光器、平板显示、发光二极管、触摸屏、紫外探测器和电磁屏蔽保护层等领域有着及其广泛的应用前景,但是如何提高透明导电氧化物的性能,成为近几年来科研人员努力的方向,采用高价态的金属离子掺入主体材

【作 者】

：

臧传伟 

【出 处】

：

山东师范大学

【发表日期】

：

2019年09期

【关键词】

：

透明导电薄膜 IWO 透过率 电阻率 磁控溅射 

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