电容器用TiCxN1-x/Al复合铝箔的制备及其生长动力学研究

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电容器是一类基本电子元件,广泛应用于通信、电子、计算机、民用和军用电子产品中。目前,提高电解电容器用铝箔比电容的制备技术主要是刻蚀法,但其存在很多缺点,如:比电容不高、腐蚀工艺复杂、对设备及环境污染严重等。本项目的研究目的是针对现有电解电容器铝箔在性能及制备技术上存在的问题,基于多弧离子镀技术,提出一种制备高比容TiC_xN_(1-x)/Al复合铝箔电极材料的新方法。并运用动力学标度理论,深入研究铝箔表面TiC_xN_(1-x)/Al纳米薄膜的形核、生长的动力学行为。本文第一部分
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