【摘 要】
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激光扫描共聚焦显微镜是目前研究亚微米细微结构的有效技术手段和必备的大型科学仪器，在生物和工业检测领域获得了普遍的应用，同时也是进一步研发STED等超分辨成像技术的基础。控制系统是保证共聚焦显微镜正常工作的关键，本文根据模块化原则，自顶向下地对激光扫描共聚焦显微镜的控制系统进行研究设计。中央控制单元采用ARM+FPGA的架构，主要对扫描控制、信号采集与光谱成像三个模块进行控制。扫描控制模块采用两个正
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激光扫描共聚焦显微镜是目前研究亚微米细微结构的有效技术手段和必备的大型科学仪器，在生物和工业检测领域获得了普遍的应用，同时也是进一步研发STED等超分辨成像技术的基础。控制系统是保证共聚焦显微镜正常工作的关键，本文根据模块化原则，自顶向下地对激光扫描共聚焦显微镜的控制系统进行研究设计。中央控制单元采用ARM+FPGA的架构，主要对扫描控制、信号采集与光谱成像三个模块进行控制。扫描控制模块采用两个正交放置的振镜系统实现对样本平面的二维扫描，振镜控制电压通过DDS技术生成。在该模块中，本文提出了
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