单晶炉电气系统谐波检测技术的研究

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随着科学技术的飞速发展,电力电子器件应用越来越广泛,而电力电子装置开关动作产生的谐波,严重地阻碍了电力电子自身发展,甚至威胁着其他的电力用户,因此必须对谐波进行治理,谐波的治理要基于对它的快速而准确的检测,为此本论文针对单晶炉(单晶炉是生产单晶硅的主要设备,其加热电源一中频电源产生大量谐波)电气系统的结构和特点进行了分析,并就系统产生谐波的机理进行了研究,在此基础上设计了基于小波包变换的谐波检测系统。 论文的主要内容包括:(1)介绍了单晶炉的工作原理;(2)对单晶炉电气系统谐波的产生及其危害进行了分析;(3)通过对目前几种常用电气系统谐波检测方法的分析并结合现场实际情况,选择将小波包变换应用于单晶炉谐波检测系统中,为此进行了理论分析和仿真研究;(4)设计了以DSP为核心器件的单晶炉电气系统谐波检测装置,硬件包括:控制单元、信号调理电路、测频和测相的电路、看门狗电路和通信电路;软件包括:DSP与A/D采样控制模块、DSP与上位机串口通信模块;(5)对所设计的检测装置进行了实验,并分析了实验结果。 通过对检测装置的设计、调试和系统实验,结果表明:基于小波包变换的单晶炉谐波检测装置能够兼顾速度快和精度高的特点,能够满足生产技术要求。
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