精密滚筒压印技术是一种微、纳米尺度下的复制成型技术。相对于传统的精密压印技术,其在生产效率,制造成本及大尺寸加工等方面都有着显著的优势。该技术主要被应用对光学元件,如背光板,反光膜,微透镜阵列等,的加工。精密滚筒压印技术正受到越来越多的关注,其市场需求不断增加,各项技术指标也逐渐提高。此时,对其系统稳定性及压印效果进行深入的研究和探讨显得尤为重要。本文从几何误差对压印结果的影响为切入点,从宏观和微观两方面进行探讨。宏观方面分析滚筒模具的形位误差对压印结果的影响；微观分析滚筒滚齿咬合误差对压印结果的影响。从宏观方面,利用MATLAB建立形位误差评定模块和形位误差不确定度评定模块,帮助表征滚筒模具在几何误差方面的特性。建立虚拟压印和虚拟检测,用以帮助制定系统公差以及帮助检测,装调等。从微观方面,基于滚筒压印方式与传统的平板压印不同,分析了咬合误差的产生机制,并分析了两种不同齿形形状参数对压印结果的影响。最后本文给出了优化滚筒滚齿咬合误差的补偿算法。并通过实验证明,运用该算法对矩形齿形进行拟合和优化可以有效减少咬合误差。