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等离子体增强平衡磁控溅射制备氮化钛涂层的研究

来源 :辽宁科技大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhm4150175

【作 者】

：

王复栋 

【出 处】

：

辽宁科技大学

【发表日期】

：

2016年01期

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